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Plaquettes SOI haute vitesse silicium sur isolant basse consommation pour circuits intégrés et MEMSLes plaquettes SOI, silicium sur isolant où une fine couche de silicium repose sur un substrat isolant, permettent un fonctionnement à grande vitesse et à faible consommation en réduisant la capacité, le courant de fuite et en améliorant les vitesses de commutation, largement adoptées en microélectronique et émergentes en photonique et MEMS.